三次元測定機

プローブヘッド VAST XT 使用時
測定精度	最大許容指示誤差　MPEe 1.6 + 3 L/1000 μm 最大許容プロービング誤差　MPEp 1.6 μm 最大許容スキャニング誤差　MPEthp 2.1μm
仕様	プロ−ピング方式　ポイント測定･スキャニング測定 測定力(N)　0.05〜1.0 最小スタイラス径(mm)　0.5 プローブ最大長さ(mm)　500 最小表示値(μm)　0.01
プローブヘッド PH10T-TP200 使用時
測定精度	最大許容指示誤差　MPEe 1.6 + 3 L/1000 μm 最大許容プロービング誤差　MPEp 1.8 μm
仕様	プロ−ピング方式　ポイント測定 測定力(N)　0.02 最小スタイラス径(mm)　0.5 プローブ最大長さ(mm)　100 最小表示値(μm)　0.1

本体	(株)東京精密製 XYZAX FUSION NEX 9/6/6
測定範囲(mm)	X=850　Y=600　Z=600
テーブル	床からの高さ　725mm
被測定物	最大質量　800kg
基本システム	電子プローブ　VAST XT及びPH10T-TP200 コントローラ　カールツァイス製C99 データ処理装置　(株)東京精密製　calypso
ソフトウェア	汎用測定プログラム 検査成績表作成プログラム
設置年月	2014年6月
個人測定	2,700円/1時間(税別)
依頼測定	2,000円/30分(税別)